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  • 株式会社爱发科专利技术

    株式会社爱发科共有723项专利

    • 提供使用多个基板保持器、对基板的两面能够高效率地成膜、小型且结构简单的通过型的成膜装置。在真空槽(2)内具备对保持于基板保持器(11)的基板(10)上进行成膜的第1及第2成膜区域(4、5)、相对于铅垂面的投影形状形成为连续的环状地设置成...
    • 本发明提供一种蒸镀装置,其能够将基板、蒸镀掩模等调整对象的温度和目标温度的差异减小?;?W)和蒸镀掩模(M)的至少一方是温度的调整对象,蒸镀装置具备:电阻加热器(22),其以与调整对象热接触的方式对调整对象的温度进行调整;以及温度调整...
    • 本发明的元件结构体的制造方法包括:树脂材形成工序,在具有凹凸的基板上,以至少凸部的周边比平坦部更厚的方式形成由有机物构成的树脂材;和树脂材蚀刻工序,残留位于所述凸部的周边的一部分所述树脂材,并且去除所述平坦部的该树脂材。在所述树脂材蚀刻...
    • 半导体装置(30)的制造方法包含:形成主要成分为氧化物半导体的半导体层(31);及在半导体层(31)的表面(31s)形成主要成分为氧化硅且氢原子浓度为1×10
    • 提供一种具有不使真空室对大气开放而可进行靶交换的构造的溅射装置用阴极单元。具有靶(Tg1,Tg2)并装设在真空室(Vc)内的本发明的溅射装置用阴极单元(CU),其特征在于,包括:支撑框体(1),其装设在真空室的外壁上;环形的可动座(2)...
    • 本发明的树脂膜形成方法为在基板上形成图案化的树脂膜的方法,至少按顺序具备:第一工序,使用掩膜主体具有可挠性支撑部与粘结部重叠的结构的掩膜,以使所述粘结部相对于所述基板相接的方式来设置所述掩膜;第二工序,通过设置在所述掩膜主体的开口部,将...
    • 限制由于负载变动而变动的电流来?;ぐ氲继蹇?。将设置有被施加规定的大小的导通电压时导通的开关电路19和具有规定的电抗值的副电抗电路30的?;さ缏?4并联连接到由于半导体开关而流动有高频电流的主电抗电路13。当开关电路19导通时,主电抗电...
    • 本发明的一形态的成膜装置具有展开辊、卷取辊、加热辊、成膜部以及控制部。展开辊用于展开作为长条的膜的基材。卷取辊用于卷绕从展开辊展开的基材。加热辊包含温度调节单元,并在基材的输送方向上设置于展开辊与卷取辊之间,用于加热基材。成膜部包含蒸发...
    • 本发明的一形态为一种电子部件的制造方法,在基板上形成第一金属层;在所述第一金属层上形成第二金属层;在所述第二金属层上形成由有机树脂层构成的掩模;使用含氟的反应气体经由所述掩模对所述第二金属层进行等离子蚀刻,从而在所述有机树脂层和所述第二...
    • 本发明的一形态的成膜装置具有成膜部、第一处理部、第二处理部以及真空室。上述成膜部包含使锂金属蒸发的蒸发源,并在基材上形成锂金属膜。上述第一处理部包含用于将上述锂金属膜的表面羟基化的第一处理室。上述第二处理部包含用于将羟基化后的所述表面碳...
    • 本发明提供一种在被湿蚀刻时具有优异控制性的蚀刻停止层及半导体器件的制造方法。当通过干蚀刻在一方向上蚀刻被蚀刻层(Le)时,在被蚀刻层的蚀刻推进方向前侧层压本发明的蚀刻停止层(Ls),所述蚀刻停止层由含有20~50重量%的硼或钇的氧化铝膜...
    • 本发明的带透明导电膜的基板的制造方法为以与绝缘性的透明基板相接的方式配置透明导电膜的带透明导电膜的基板的制造方法,至少依次具备:步骤α,在设为希望的减压气氛的热处理空间中,将所述透明基板控制到规定的成膜前温度;步骤β,在设为希望的工艺气...
    • 提供一种能够对基板的位置提高检测精度的位置检测装置及蒸镀装置。位置检测装置(10)具备:拍摄部(11),其拍摄第1像和第2像,该第1像基于由基板(W)的平坦部(Wp1)反射的光形成,该第2像基于由与平坦部(Wp1)连接的斜面部(Wp2)...
    • 本发明的薄膜的形成方法,其包含第一工序和第二工序;在该第一工序中,是将成膜对象的温度设为200℃以上,并从第一状态变成第二状态;该第一状态是将成膜材料和载流气体供给至该成膜对象从而使该成膜材料附着于该成膜对象;该第二状态是从第一状态中将...
    • 本发明的成膜装置为对被处理基板进行成膜的成膜装置,包括:供给装置,配置在能够真空排气的腔室内且用于供给成膜材料;和保持装置,用于在成膜时保持所述被处理基板。所述保持装置具有:防着板,用于覆盖所述保持装置中所述成膜材料所附着的区域;保持部...
    • 本发明的溅射装置为通过溅射法在被处理基板上进行成膜的装置,包括:真空腔室;靶,设置在位于所述真空腔室内的阴极的表面上;基板保持部,以与所述靶相对的方式设置于所述真空腔室内,在所述基板保持部上设置被处理基板;和摇动部,用于使所述基板保持部...
    • 本发明提供能够提高基板位置的检测精度的位置检测装置、位置检测方法以及蒸镀装置。图像处理部(20)根据正面摄像部的各照相机(11)对基板标记(Wm)进行摄像的结果算出正面摄像部的照相机(11)间的相对位置,并使用该照相机(11)间的相对位...
    • 本发明提供一种作为具有用来制造多个压电元件以固定间隔排列成矩阵状的产品率高的结构的器件的矩阵型超声波探头。本发明的超声波探头(AP)具有的结构包括:第一干膜抗蚀剂(22),其具有开设成矩阵状的多个第一开口(22a),在使压电元件(21)...
    • 本发明的基板导向件以基板的面沿大致铅直方向的方式设置于大致垂直保持所述基板的载体的载体框架上,并且与所述基板的至少周边端面部相接而支撑所述基板?;宓枷蚣ǎ喊沧霸谒鲈靥迳系幕?;基板支撑部,与保持在所述载体上的所述基板的所述周边端...
    • 本发明涉及一种布线基板的加工方法,所述布线基板包括在基板上局部配置的导体部被树脂部包覆的结构,所述树脂部是成为填料的无机材料分散于有机材料而成,所述布线基板的加工方法使用灰化法,从所述树脂部的表层侧去除所述有机材料,使用湿式清洗法,对残...
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